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Particle AOI&自动清洁
LK-CZ-01
晶圆表面尘点，异物，脏污等外观缺陷自动检测，晶圆/晶片表面可移动尘点，ESD粘尘棒自动去除。
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规格参数
型号LK-CZ-01
设备尺寸1750*1200*1850mm
操作人力1人
AOI系统25M像素
FOV (mm)6.4*6.4
AOI检测精度1μm
尘点去除率99.8%


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