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Wafer 外观 AOI 检测机
LK-DW10
检测Wafer切割道，崩边，裂纹，划伤，针孔，脏污，色差等不良,兼容6寸，8寸，12寸Wafer;
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规格参数
型号LK-DW10
设备尺寸1800*1800*1960mm
生产效率(UPH)1800
漏检率<=0.01%
误判率<=2%
可检测的产品大小Max=40*60mm可检测多摄
AOI系统65M像素，2X-5X放大能力
AOI检测精度0.8-2μm


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